PECVD 等微观加工设备研发制造 ，广州公司整体规划总投资 30 亿元 。中微总部并持续拓展智能玻璃、华南

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，及生板级封装等新兴泛半导体装备赛道。产基投资约 10 亿元 ，地期

封顶

近日，广州公司向着既定建成投产目标稳步推进。中微总部装配功能于一体 。华南位于广州增城经济技术开发区的及生中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶，项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，产基集研发、地期测试、封顶本次封顶的广州公司一期项目占地约 50 亩 ，基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、